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北大&国防科大《Nature》子刊:晶圆级超平石墨烯!

编译者:冯瑞华发布时间:Nov 8, 2022点击量:2537 来源栏目:科技前沿

对于先进的电子器件来说,大规模二维(2D)材料集成到半导体晶圆上是非常需要的,但诸如转移相关的裂纹、污染、皱折和掺杂等挑战仍然存在。

在此,来自国防科技大学和北京大学等单位研究者,采用原子分辨扫描透射电子显微镜结合密度泛函理论计算,展示了Ca和Si等价掺杂共偏析引起α-Al2O3中的GB结构转变。相关论文以题为“Integrated wafer-scale ultra-flat graphene by gradient surface energy modulation”发表在Nature Communications上。

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北大&国防科大《Nature》子刊:晶圆级超平石墨烯!

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